上银超精密模组-Z轴/纳米级
特征

重现精度:±0.3μm

绝对精度:±3μm

水平直线度:±1.5μm

垂直直线度:±1.5μm


重现精度:±0.2μm

绝对精度:±1μm

水平直线度:±1.5μm

垂直直线度:±1.5μm

俯仰:±5arc-sec

偏摆:±5arc-sec

奈米级超精密运动控制

低速度涟波平滑运动




  • 基本信息
  • 规格尺寸
  • 配置/性能参数

    滚珠丝杆平台

    1100奈米

    最小增量控制

    研磨级精密滚珠丝杆

    三相旋转伺服马达

    高刚性交叉滚珠线型滑轨

    标准Z轴模组

    NPS资料1.png


    NPS 丝杆型号.png


    直线电机平台

        2奈米

    最小增量控制

    奈米级超精密运动控制

    低速度涟波平滑运动

    高刚性交叉滚子线性滑轨

    高精度线性光学编码器NPS直线电机资料1.png


    NPS超精密模组-Z轴

    NPS超精密模组-纳米级


    NPS直线电机尺寸.png


    NPS超精密模组-Z轴

    NPS丝杆参数.png

    NPS超精密模组-纳米级

    NPS直线电机参数.png

    NPS直线电机资料2.png


(专案科):15962332767

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